КАЗАЧЕНКО ИРИНА НИКОЛАЕВНА

  Изобретение может быть использовано в микроэлектронике и направлено на расширение его функциональных возможностей за счет обеспечения очистки микропроволоки 6 в жидкой среде 2. Для этого в устройстве, включающем ультразвуковой преобразователь 4 с волноводом 3 и инструментом, выполненным в виде цилиндроконической трубки 5, в коническом участке инструмента выполняют сквозные отверст...