ГРУЗДЕВ АНДРЕЙ ПАВЛОВИЧ

  Изобретение относится к неорганической химии и может быть использовано для химической обработки подложек ниобата и танталата лития. Цель изобретения - повышение скорости травления. Состав для травления монокристаллических подложек ниобата и танталата лития представляет собой расплав компонентов, взятых в количестве, соответствующем на фазовой диаграмме HF-KF, соотношению, мас.% :...