ИВАНОВСКИЙ М.М.

  Изобретение, относится к электронной технике. Цель .изобретения - повышение надежности и выхода годных ИС. Сущность способа заключается в том, что на поверхность подложки с изолирующими областями наносят слой поликремния,, .формируют рисунок межсоединений, последовательно осаж дают слои cHhffliumoo6pa3yraDiero переходного металла и кремния, локально .удаляют слой кремния и металл...