КРИКАВЦОВ ВИКТОР ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к способам выделения трихлорсилана и тетрахлорида кремния из смеси хлорсиланов, может быть использовано в производстве полупроводникового кремния и позволяет повысить чистоту продуктов и их выход. Смесь хлорсиланов подвергают трехстадийной ректификации с подачей в куб колонны второй стадии паров воды при 40-106°С для формирования кислородсодержащих силано...

  Область использования; настоящее изобретение относится к аппаратурному оформлению процессов с проведением химических реакций между жидким и газообразными реагентами с выделением готового продукта. Сущность изобретения: аппарат содержит тарельчатую противоточную колонну с конденсатором в верхней ее части, емкость, расположенную в нижней части, с нагревателем, В аппарате установлен...

  Использование: при глубокой очистке хлорсиланов, предназначенных для производства полупроводникового кремния . Сущность изобретения: смешивают потоки влажного инертного газа и пары исходных хлорсиланов в кубе ректификационной колонны при скоростях, обеспечивающих соотношение критериев Рейнольдса в пределах , проводят ректификацию при молярном отношении потоков конденсата и инертн...