КОРНИЕНКО ЮРИЙ КОНСТАНТИНОВИЧ

  Изобретение касается исследования полупроводниковых материалов, в частности исследования физических свойств поверхности, и может быть использовано при выращивании эпитаксиальных слоев. Целью изобретения является повышение производительности определения за счет интегрального определения симметрии поверхности в процессе однократного цикла измерений. На пластину 11 полупроводника нан...