ШАЛАШЕВ ОЛЕГ МИХАЙЛОВИЧ

  Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности за счет компенсации постоянной составляющей дифракционного сигнала и за счет автоматической коррекции положения элемента топологического рисунка, расширение области применения за счет обеспечения возможности измерений при большей степени интеграции топологического рисунка независимо от...