МАГСУМОВА АЛСУ ТАЛГАТОВНА

  Изобретение относится к устройствам для измерения статических и динамических давлений газообразных сред с помощью датчиков, использующих поверхностные акустические волны (ПАВ). Цель изобретения - повышение надежности и технологичности датчика и уменьшение температурной погрешности. Датчик давления на ПАВ содержит кремниевую мембрану 1, на которой расположен диффузионный резистивны...