ТАМУЛЕВИЧЮС СИГИТАС ИОНОВИЧ

  Изобретение относится к измерению и контролю электрофизических параметров материалов электронной техники, в частности контролю химического состава твердых тел как на его поверхности, так и в глубинных слоях. Цель изобретения - увеличение точности измерения текущей координаты по глубине. Способ послойного Оже-анализа химического состава твердых тел основан на анализе энергий и коли...