ЧИСТИЛИН АНДРЕЙ АНДРЕЕВИЧ

  Изобретение относится к очистке плоских деталей, преимущественно полупроводниковых пластин, и позволяет повысить качество и производительность очистки. Согласно способу воздействие струй моющей жидкости и азота осуществляют под углом к очищаемым поверхностям, равным α=ARCSINH/D, где D - диаметр пластин H - расстояние между пластинами в кассетах, при этом в процессе очистки д...