Вавилов В.Д.

 Устройство для измерения перемещений, содержащее дифференциальный емкостной преобразователь с заземленным подвижным общим электродом, генератор переменного напряжения высокой частоты и масштабный усилитель с дифференциальными входами, каждый из которых соединен с одним из неподвижных электродов емкостного преобразователя, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений за счет...

 Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для создания гироскопов с колеблющимися массами. Микромеханический гироскоп содержит чувствительный элемент, установленный на упругих подвесах и служащий подвижным электродом 9, неподвижные электроды 7, 8, 10, расположенные по обеим сторонам от неподвижного электрода 9, силовой электростатический преобразователь и чувствите...

 Использование: при изготовлении упругих элементов микромеханических датчиков. Техническим результатом изобретения является повышение качества изготавливаемых упругих элементов за счет повышения их прочности и повторяемости упругих характеристик. Сущность изобретения: согласно предложенному способу полученным размерным анизотропным травлением элементы из монокристаллического кремния легиру...

 Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для силового управления чувствительными массами микромеханических датчиков типа акселерометров и т.п. Преобразователь силы содержит маятниковый узел, изготовленный из единого монокристалла проводящего кремния и содержащий подвижный элемент 3 на упругих подвесах 7 и опорную рамку 4, из которой выходят подвесы 7. Рамка 4 имее...

 Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа. Технический результат - повышение точности гироскопа. Чувствительный элемент содержит жесткую внешнюю рамку (1) и центр (9), который соединен с рамкой (1) четырьмя несущими жесткими растяжками (8), расположенными крестообразно. Между рамкой (1) и центром (9) на тридцати двух упр...

 Изобретение может применяться для подвеса чувствительных масс в интегральных акселерометрах или микрогироскопах. Задача изобретения - повышение точности прибора за счет снижения гистерезиса и температурных деформаций подвеса. Упругий подвес содержит отдельно выполненные несущие и токопроводящие элементы с проводящими дорожками, соединяющие чувствительную массу с рамкой прибора и расположе...