ХАЛИЛОВ Ш.С.

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для неразрушаюпего контроля состояния поверхности образцов, а именно для определения дозы имплантированных ионов на поверхности полупроводника . Целью изобретения является повьппеиие точности измерений. Исслёдуемьй участок полупроводника облучают модулированным оптическим излучением с энергией квантов мен...