Борисенко И.Ю.

 Изобретение относится к криоэлектронике и может быть использовано для создания сквидов и измерительных приборов на их основе. В способе, включающем напыление пленки ниобия на кремниевую подложку, формирование первого электрода, формирование слоя барьера, напыление пленки ниобия, формирование второго электрода, с целью улучшения электрофизических характеристик контакта слой барьера формиру...