ЗГУРОВСКАЯ ЛЮДМИЛА ПЕТРОВНА

  Изобретение предназначено для применения в химической промышленности в установках термического окисления кремния и позволяет увеличить выход годной продукции (пластин кремния с заданной толщиной окисла кремния) за счет повышения качества управления технологическим процессом. Цель достигается введением в контур управления датчика скорости подачи кислорода, датчика измерения примеси...