ЮЩЕНКО ПЕТР ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к технологии получения гранатовых слоев и может быть использовано в производстве магнитных приборов микроэлектроники. Цель изобретения - снижение продолжительности процесса и уменьшение потерь платины. Способ включает нагрев подложки из галлий-гадолиниевого граната до 900-1050°С, ее травление раствором-расплавом, содержащим, мол.%: GD<SB POS="POST">...