Лушин Б.М.

 Изобретение может быть использовано в технологии микроэлектроники, а именно в устройствах для напыления резиста в вакууме. Целью изобретения является сокращение расхода резиста. Испаритель содержит установленный коаксиально внутри тигля 2 дозатор 3 резиста и закрепленный на экране 9 между формирователем 10 потока пара и дозатором 3 соответственно дополнительный экран 11 с отверстиями 14,...