СТЕПАНОВ ГЕНРИ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в промышленных условиях, а также в лабораторной практике для контроля травления нарушенного после механической обработки слоя полупроводниковых структур и определения момента его полного стравливания. Целью изобретения является повышение точности определения момента окончания травления нарушенного слоя. Ус...