ШЕВЫРЕВ ЮРИЙ ЕВГЕНЬЕВИЧ

  Изобретение относится к производству изделий микроэлектроники и может быть использовано для получения тонкопленочных покрытий на пластинах, например, при изготовлении фотошаблонов. Цель изобретения - улучшение качества изделий достигается за счет обеспечения подачи пластин на позицию обработки в строго ориентированном положении при минимальном контакте элементов устройства с повер...