ЖЕЛТУХИН В.С.

  Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме. Целью изобретения является повышение качества наносимых покрытий и расширение функциональных возможностей устройства. Устройство содержит разрядную камеру с расположенными на ней кольцевыми электродами, внутри которой на графитовом блоке расположены подложки, а также узел подачи реагентов и систему откачки. При подаче высокоча...