ВАСИЛЬКОВСКИЙ СЕРГЕЙ ВЛАДИМИРОВИЧ

  Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к процессам напыления металлических покрытий, и может быть использовано в электронной и других отраслях промышленности для контроля качества напыленных алюминиевых покрытий. Цель изобретения - повышение точности контроля качества напыленных алюминиевых покрытий. Способ включает пассивирование в растворе, содержащем, г/л: CRO<...