ЕВДОКИМОВ АЛЕКСЕЙ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к приборостроению, а именно к устройствам регулирования дозы оптического излучения, в частности к устройствам регулирования экспозиции фоторезиста в фотолитографии. Целью изобретения является повышение точности определения экспозиции. Предлагаемое устройство состоит из расщепителя 1 светового потока, оптически связанного с ним фотоприемника 2, установленного...