ЗИГАНШИН РАФАЭЛЬ РАХИМЖАНОВИЧ

  Изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения - повышение надежности , упрощение конструкции и сокращение энергозатрат. Высоковакуумная установка содержит откачиваемую камеру 1, подключенные к ней форвакуумный 2 и высоковакуумный 3 насосы, высоковакуум/ ный затвор 4 с запорным органом 5 и приводом , размещенные между камерой 1 и высоковакуумным насосом 3. Причем при...