НИКАНДРОВ ОЛЕГ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и имеет целью повышение точности и чувствительности устройства для контроля отклонения линейных размеров различных объектов, например толщины листового материала. Устройство содержит тестовую структуру в виде конденсатора с двумя компланарными электродами 1 и 2 гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на об...