ШВЕЦЬ СЕРГЕЙ АЛЕКСЕЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при травлении или формировании слоев полупроводниковых материалов. Цель изобретения - повышение точности контроля полупроводниковых слоев путем исключения интерференционных эффектов. Выполняют светочувствительный слой фотоприемника таким, что длинноволновый скат характеристики его спектральной чувствительност...