КРАСНЯНСКИЙ АНАТОЛИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано для локального количественного контроля и анализа параметров сверхбольших интегральных схем при их изгртовлении„ Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение надежности о Устройство содержит зондовую карту 5, в которой установлено кольцо 6 с зондирующими иглами 7„ Подъемник выполнен в виде кольцевог...

  Изобретение относится к системам тестирования полупроводниковых микросхем в растровых электронных микроскопах и может найти применение в полупроводниковых технологиях, микроэлектронике, литографии и приборостроении при получении информации о физических свойствах 8 8 S 7 поверхностей материалов, например, сверхбольших интегральных схем, Цель изобретения - повышение точности позици...