Лещенко А.В.

 Использование: в интегральной электронике и микросистемной технике, при производстве микрокапиллярных устройств, использующих электрогидродинамический эффект. Сущность изобретения: в интегральный микронасос, содержащий электрод, представляющий собой полупроводниковую пластину сетчатой структуры с V-образными отверстиями по всей ее толщине, и изолирующий слой, введены металлический слой, я...