АВЕЗОВ АБДУНАЗАР АСТАНОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к технике измерения парциального давления пара химических элементов, и может быть использовано в лабораторной практике при выполнении научно-исследовательских работ, для автоматизации технологических процессов. Способ определения парциального давления пара полупроводника в реакторе для получения полупропод иковых слоев га...