ИЗИДИНОВ САБРИ ОСМАНОВИЧ
Изобретатель ИЗИДИНОВ САБРИ ОСМАНОВИЧ является автором следующих патентов:
Способ определения состава поверхностных загрязнений кремниевых пластин и структур
Изобретение относится к масс-спектрометрии и может быть использовано для высокочувствительного определения состава поверхностных загрязнений кремниевых пластин и структур Цель изобретения - повышение чувствительности и точности определения Предлагаемый способ включает предварительную химическую обработку поверхности путем нанесения и локализации минимального количества фтористо-в...
1624314
Способ создания образцов сравнения для лазерного и вторично- ионного масс-спектрометрического количественного анализа примесей на поверхности кремния и структур на его основе
СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК „, Я2,,1756827 Ai (5!)5 6 01 R 1/00 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР ОПИСА!-! ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ AaTOPC Ovv CBидк.ГЫ! Ст У 1 2 (21) 4837612/21, . - -: -: дальнейших исследований физико-химиче(22) 11.06.90 .:,: -: скими методами полупроводниковых мате(46) 23.08.92. Бюл. !ч 31: . риалов, в частности элем...
1756827