Ильичев Л.Л.

 Изобретение относится к электротермии, в частности к устройствам для нанесения вакуумных ионно-плазменных покрытий. Технический результат от использования изобретения состоит в повышении коэффициента использования реакционных газов, снижении температуры нагрева деталей ионной бомбардировкой, уменьшении количества "микрокапельной" фазы, избежании формирования переходной зоны со столбчатой...