МАЛЮГИН Ю.А.

  Изобретение относится к полупроводниковому материаловедению, а точнее к катодам получения фоточувствительных материалов, может быть использовано в полупроводниковой технике и позволяет повысить фоточувствительность пленок и сократить время активирования. Цель изобретения - повышение фоточузствнтельности и сокращение времени активирования . Процесс ведут в атмосфере газовой смеси,...