ХОРОШЕВСКИЙ ЛЕОНИД АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах и автоматах зондового контроля полупроводниковых структур на пластине. Цель изобретения - повышение надежности контроля при переменной температуре. Перед уставовкой на зондовом кольце на специальном приспособлении корректируют начальную точку отсчета рабочего усилия контактирования на каждом контакти...

  Изобретение относится к техническим измерениям. Цель изобретения - расширение области использования за счет обеспечения измерений в диапазоне температур (-65) - (+300)°С. Измеряемый объект 20 размещают на базовой поверхности 3 столика 2. Координаты контролируемых точек объекта определяют при помощи оптико-электронного измерительного узла 12, состоящего из объектива 13, осветит...