Сергеева В.С.

 Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для нанесения фоторезиста на пластины и фотошаблоны при фотолитографии. Цель изобретения - улучшение эксплуатационных возможностей и упрощение конструкции. В оправке 2 устройства выполнено гнездо 5 для размещения обрабатываемой пластины и радиальные каналы в виде пазов 7, дно которых расположено в одной плоскости с дном...