ШАХРАЙЧУК НИКОЛАЙ ЙОВОВИЧ

  Изобретение относится к технологии полупроводников-сложного состава, в частности к получению гетерострук- , тур, оба компонента которых принадлежат к соединениям класса А В С . Она обеспечивает сокращение времени процесса , получение одновременно двух гетероструктур и гетероструктуры CdGeP -ZnGeP без эрозии поверхности. Способ включает нагрев и изотермический отжиг в вакуумирован...