Овсянников Б.Л.

 Изобретение относится к оборудованию для прецизионного перемещения изделий машиностроения и может быть использовано в вакуумном оборудовании для прецизионного перемещения рассматриваемых предметов, например, в точных профилометрах и в некоторых простых вариантах сканирующих микроскопов. Координатное устройство содержит основание, каретку и шариковый винтовой привод, включающий шариковую в...