ЧУЛИНИНА Л.П.

  Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в технологическом процессе изготовления полупроводниковых приборов. Целью изобретения является увеличение эффективности геттера для пластин кремния с содержанием кислорода не менее 6-1017 см . Цель достигается тем. что формируют внутренний геттер в процессе трехступенчатого отжига. Перед отжигом проводят окисле...