РАФЕЛЬСОН ЛЕОНИД ЛЬВОВИЧ

  А1 СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК „„Я0„„16381 (51) С 04 В 35/58 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕП=НИЛ Н АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР (21) 4671699/33 (22) 31. 03.89 (46) 30.03.91. Бюл. № 12 (71) Куйбышевское производственное объединение "Завод им. Маслечникова" (72) Н. Б . Рафа евич, Н .И. Бондар ева Л.Л. Рафельсон,...

  Использование: в производстве интегральных микросхем на пассивных и активных подложках. Сущность изобретения: устройство содержит дозатор капель рабочей жидкости, источник света, фотодиод, регистрирующий отраженный от исследуемой поверхности световой поток и подключенный к пиковому вольтметру через дифференцирующую цепь. 1 ил. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (я)з...