ЗАСЛАВСКИЙ СЕРГЕЙ ЛЕОНИДОВИЧ

  Изобретение относится к получению тонких пленок методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Обеспечивает повышения стабильности работы источника . Источник содержит тигель. Тигель окружен нагревателем и многослойным экраном. На нижнюю часть тигля надето металлическое седло, соединенное с термопарой. Седло поджато к тиглю при помощи упругого элемента. Упругий элемент выполнен в виде тр...

  Изобретение относится к тонкопленочной технологии, может быть использовано в микроэлектронике и обеспечивает повышение надежности работы источника и улучшение качества выращиваемых пленок за счет более эффективного охлаждения и уменьшения поверхности нагрева. Источник содержит тигель, установленный коаксиально нагреватель и два цилиндрических экрана. Экраны соединены герметично,...

  Изобретение относится к методам исследования поверхности твердых тел с использованием электронных пучков и может быть использовано для проведения количественных измерений элементного состава поверхности методами оже-спектроскопии, фотоэлектронной спектроскопии, рентгеновского микроанализа. Целью изобретения является расширение энергетического диапазона электронов, для которых опр...

  Использование: в исследовании твердых тел с помощью облучения. Сущность изобретения: анализируемую поверхность облучают расходящимся пучком рентгеновского излучения, возбуждающим характеристическое рентгеновское излучение определяемых элементов и регистрацию его интенсивности. Образец нагревают до температуры образования защитной пленки на поверхности зерен, повторяют процесс обл...