САНФИРОВ ЮРИЙ ЗАХАРОВИЧ

  Изобретение относится к получению тонких пленок методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Обеспечивает повышения стабильности работы источника . Источник содержит тигель. Тигель окружен нагревателем и многослойным экраном. На нижнюю часть тигля надето металлическое седло, соединенное с термопарой. Седло поджато к тиглю при помощи упругого элемента. Упругий элемент выполнен в виде тр...

  Изобретение относится к тонкопленочной технологии, может быть использовано в микроэлектронике и обеспечивает повышение надежности работы источника и улучшение качества выращиваемых пленок за счет более эффективного охлаждения и уменьшения поверхности нагрева. Источник содержит тигель, установленный коаксиально нагреватель и два цилиндрических экрана. Экраны соединены герметично,...