ПЕТРАКОВ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к области электроники, в частности к методам изготовления приборов на твердом теле с использованием ниобата лития. Обеспечивается повышение скорости травления. Способ включает сухое травление в плазме высокочастотного разряда газообразного гексафторида серы SF6 при условии Т 700-3, 4Р , где Т - температура ниобата лития, К; Р - давление SFg , равное Па. Дост...