ОСИНЦЕВА ЛЮДМИЛА АНАТОЛЬЕВНА

  Изобретение относится к изготовлению полупроводниковых преобразователей и может быть применено в технологии микроэлектроники с целью повышения точности измерения давления. Преимущество достигается тем, что перед разделением пластины-заготовки 1 ее поверхность металлизируют путем вакуумного напыления алюминия, и затем пластину-заготовку подвергают термической обработке. 1 ил С...