ХАБАРОВ Ю.В.

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при контроле параметров полупроводниковых пластин и структур . 1 сль изобретения - упрощение технических средств низкотемпературных зондовых измерений, в том числе и при использовании жидкого хладагента . Термостолик, содержащий термоизолированное основание с пьедесталом , установлен в кожух, в котором вы...