Полунина О.В.

 Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий и может быть использовано для нанесения различных покрытий и тонких пленок. Цель изобретения - повышение равномерности покрытия по толщине. Подложкодержатель содержит многоярусный цилиндричсекий корпус с гнездами, в которых установлены обрабатываемые детали. Выполнение копруса в виде жесткой одно- или многозаходной спирали с шаг...