ЛИМАНОВ АЛЕКСАНДР БОРИСОВИЧ

  Изобретение может быть использовано в электронной технике для получения полупроводниковых структур и обеспечивает ускорение процесса. Устройство содержит обогреваемый подложкодержатель для подложки , на поверхность которой нанесена пленка поликристаллического кремния. Напротив подложкодержателя размещены источник излучения и система фокусировки . Система фокусировки содержит соби...

  Изобретение относится к выращиванию пленок кремния, может быть использовано в электронной технике для производства полупроводниковых интегральных схем или чувствительных элементовтензопреобразователей на базе структур кремний на диэлектрике и позволяет повысить выход годных пленок за счет устранения пирамид роста на подложке. Пластину кристаллического кремния окисляют, затем в ок...