ЛЮБАР НИКОЛАЙ ЕФИМОВИЧ

  Изобретение относится к контрольноизмерительной технике. Цель изобретения - повышение точности за счет компенсации погрешностей изготовления растра. Устройство состоит из оптически связанных качающегося зеркала 1, объектива 2, светоделительного элемента 3, растра 4 и фотоприемников 6 и 7. фазового детектора 11, блоков 12 и 13 вычитания, фазового детектора 19, сумматора 20 и управ...