МАТЮШИН ЕВГЕНИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для проведения промежуточного контроля, ускоренных испытаний и отбраковки интегральных схем (ИС) вместо длительной электротермотренировки Цель изобретения - повышение чувствительности способа контроля к возможным механизмам нестабильности зарядовых состояний технологии изготовления ИС Способ включает предварительн...