МАЦЦА Франческо (IT)

 Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы. Сущность: система образована из одного или более геттерных устройств в виде спеченных тел из порошков геттерного материала или слоев геттерного материала, осажденных на металлическую подложку, которая должна быть размещена в рабочей зоне технологических камер...

 Изобретение относится к процессам осаждения тонких пленок. Может применяться при производстве интегральных микросхем, носителей для хранения информации, плоских дисплеев и т.п. Предложен способ осаждения тонких пленок на подложку. Газопоглощающее устройство в активированном состоянии вводят во взаимодействие с рабочей газовой средой в вакуумируемой рабочей камере. Сумма парциальных давлен...