АНЧУГИН АНДРЕЙ ГЕННАДЬЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для определения внутренних напряжений в тонкопленочных покрытиях. Цель изобретения -- повышение производительности измерений величины начальных напряжений в покрытиях . Способ заключается в том, что на подложку наносят слои покрытия, толщины которых отличаются на одну и ту же величину , и измеряют силу, действующую на...

  Изобретение относится к измерительной технике н может быть использовано при определении внутренних напряжений в тонких пленках. Целью изобретения является повышение точности путем уменьшения влияния нестабильности температуры. Излучение лазера направляется на блок преобразования излучения, выполненный в виде прозрачной пластины со сферической выемкой, проходит его и попадает на п...