Дягилева Л.М.

 Изобретение относится к электронной технике, а именно к технологии получения пленок оксида кадмия на инородных подложках, и может быть использовано при формировании структур, содержащих тонкие слои полупроводниковых материалов с широкой запрещенной зоной в оптоэлектронике. Пленки формируют из парогазовой смеси, содержащей диметилкадмий, пары воды при 20 - 40oC при определенных содержаниях...