АЛЕКСЕЕВ АЛЕКСЕЙ ВАЛЕНТИНОВИЧ

  Изобретение относится к получению многослойных структур типа сверхрешеток. Цель - повышение производительности и упрощение устройства. Оно содержит реактор с фланцем вверху. В реакторе установлен каркас с закрепленными на нем сетчатыми полками, на которых размещены выдвижные пластины в виде колец, установленных на стержнях с возможностью поворота . На пластины располагают подложк...