ПОНОМАРЕВ НИКОЛАЙ МИХАЙЛОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения механических напряжений в кристаллических подложках и эпитаксиальных структурах. Целью изобретения является повышение скорости и точности измерений в тонких пластинах оптически прозрачных материалов. Устройство содержит источник излучения, оптическую систему с расположенными на одной оптической...