ЛИ Лумин (US)
Изобретатель ЛИ Лумин (US) является автором следующих патентов:
Электрод камеры обработки полупроводниковых пластин и способ его изготовления
Изобретение относится к области электротехники, в частности к системам технологической обработки полупроводниковых пластин путем плазменного травления. В состав системы входит технологическая камера, которая включает устройство фиксации полупроводниковой пластины для крепления полупроводниковой пластины и пару источников радиоволнового излучения. В другом случае электрод системы может быт...
2212077