ЛИ Лумин (US)

 Изобретение относится к области электротехники, в частности к системам технологической обработки полупроводниковых пластин путем плазменного травления. В состав системы входит технологическая камера, которая включает устройство фиксации полупроводниковой пластины для крепления полупроводниковой пластины и пару источников радиоволнового излучения. В другом случае электрод системы может быт...